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Stand: 14.09.2026, 09:35 Uhr

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Ministerpräsident Cem Özdemir (Mitte), Andreas Pecher, Vorstandsvorsitzender der Zeiss Gruppe (rechts), und Dr. Frank Rohmund, Mitglied im Vorstand der Zeiss Gruppe (links), während des Besuchs am Zeiss-Standort in Oberkochen. © Zeiss

Analysten und der Oberkochener Halbleiter-Chef beziffern erstmals, wie groß Pekings Rückstand bei der Chip-Belichtungstechnik tatsächlich ist.

Oberkochen. Ein Hochsicherheitslabor irgendwo in Shenzhen. Kameras, Wachpersonal, Zutritt nur für wenige. In der Mitte steht eine Maschine. Sie füllt die halbe Halle. Sie läuft. Aber sie produziert noch nichts, das funktioniert. Noch nicht.

So beschrieb es die Nachrichtenagentur Reuters Ende 2025. Gemeint ist der Versuch, jene Maschine nachzubauen, die bislang nur ein einziges Unternehmen der Welt herstellen kann. Ihr wichtigstes Bauteil kommt aus Oberkochen. Von Zeiss. Ingenieure in Shenzhen – darunter offenbar auch ehemalige Mitarbeiter des Weltmarktführers ASML – versuchen dort, die Technik aus Alt-Komponenten und Erfahrungswissen nachzubauen. Ihr Prototyp kann bereits EUV-Licht erzeugen, hat aber bislang noch keinen einzigen funktionierenden Chip produziert. Offizielles Ziel Pekings: einsatzfähige Chips bis 2028. Intern, so mehrere mit dem Projekt vertraute Personen gegenüber Reuters, gilt eher 2030 als realistisch – bis zu einer konkurrenzfähigen Serienfertigung, wie sie Zeiss und ASML heute beherrschen, dürfte es nach Einschätzung von Branchenkennern aber noch einmal deutlich länger dauern.

„Wir sind immer noch weit vorne.“

Wie weit ist China wirklich?

Dieser Tage haben sich gleich zwei voneinander unabhängige Stimmen dazu geäußert – und beide kommen erstaunlich genau auf dieselbe Zahl. Die Schweizer Großbank UBS verglich Anfang September Chinas aktuellen Entwicklungsstand mit dem, den ASML selbst im Jahr 2004 hatte. Das ist rund 15 Jahre vor dessen eigener EUV-Serienproduktion. Wenige Tage später bestätigte das Frank Rohmund, der Chef der Zeiss-Halbleitersparte, gegenüber dem Finanzsender Bloomberg: Es sei eine „vernünftige Annahme“, dass Peking 15 Jahre benötige, um eigene Maschinen dieser Art zu bauen. Sein Fazit fiel selbstbewusst aus: „Wir sind immer noch weit vorne.“

Fünfzehn Jahre – das ist eine gute Nachricht für den Ostalbkreis, aus dem die EUV-Lithografiesysteme kommen, ohne die sich die modernsten Chips der Welt nicht herstellen lassen. Der niederländische Konzern ASML baut die tonnenschweren Belichtungsanlagen. Ihr Herzstück aber, ohne das nichts geht, liefert exklusiv Zeiss aus Oberkochen: extrem präzise Spiegel, die ultraviolettes Licht auf den Nanometer genau lenken. Diese Optik steckt in Anlagen, die schätzungsweise 80 Prozent aller weltweit produzierten Chips herstellen – ein Geschäft, das der Zeiss-Sparte SMT zuletzt einen Rekordumsatz von 5,06 Milliarden Euro einbrachte.

Zauberlicht aus Zinntröpfchen

Der Grund für Chinas Mühe liegt in der Physik selbst. Das verwendete Licht, kurz EUV genannt, hat eine Wellenlänge von nur 13,5 Nanometern. Es existiert nicht von Natur aus, wird von normaler Luft verschluckt und lässt sich nicht einmal mit gewöhnlichem Glas bündeln. Erzeugt wird es, indem ein Hochleistungslaser 50.000 winzige Zinntröpfchen pro Sekunde beschießt. Dabei entsteht bei rund 220.000 Grad Celsius – heißer als die Sonnenoberfläche – ein Plasma, das genau das richtige Licht abstrahlt. Gekrümmte Spiegel aus Oberkochen lenken dieses Licht anschließend mit einer Genauigkeit von millionstel Millimetern auf eine Siliziumscheibe. Ein einziger dieser Spiegel braucht rund ein Jahr Fertigungszeit – kein Wunder, dass sich das nicht einfach kopieren lässt.

Wie die EUV-Technologie bei Zeiss entstand und warum sie für moderne Chips unverzichtbar ist, hat die Schwäbische Post ausführlich erklärt.

Der Kampf um die Köpfe

Weil sich dieses Wissen kaum patentieren, nur erfahren lässt, spielt sich der Wettlauf längst auch in Oberkochen selbst ab – bei der Belegschaft. Nach Recherchen des Magazins „Der Spiegel“ haben chinesische Akteure gezielt E-Mails an Zeiss-Mitarbeiter verschickt und ihnen bis zum Dreifachen ihres Gehalts angeboten, sollten sie für den Technologiekonzern Huawei nach Fernost wechseln. Rohmund rief seine Belegschaft öffentlich dazu auf, solchen Angeboten zu widerstehen. Nach eigenen Angaben mit Erfolg: Die Zahl der Kündigungen blieb gering. Geholfen habe ein im Unternehmen fest verankertes Ethos: Den „Schatz“, den man gemeinsam geschaffen habe, müsse man auch gemeinsam schützen. Besucher werden deshalb gründlich durchleuchtet, fotografieren ist verboten, die Reinräume sind für Außenstehende tabu.

Wo der Vorsprung schneller schmilzt

Im Reinraum von Intels Fab D1X in Hillsboro, Oregon, erläutert Intel Fellow Mark Phillips Journalisten das neue High-NA-EUV-Lithografiesystem des Unternehmens. Die 165 Tonnen schwere Anlage wurde von ASML gebaut und ist das weltweit erste kommerzielle System dieser Art. © Intel Corporation

Ganz so entspannt wie bei der Spitzentechnologie EUV ist die Lage allerdings nicht überall. Im Juli 2026 schreckte eine Meldung die Börsen auf: Ein bis dahin kaum bekanntes chinesisches Staatsunternehmen namens Shanghai Aishengna hatte begonnen, eigene Maschinen der älteren, einfacheren DUV-Technik in Serie zu fertigen – für Kunden wie den Chipriesen SMIC. Die ASML-Aktie brach zeitweise um bis zu acht Prozent ein, auch südkoreanische Chipkonzerne wie Samsung gerieten unter Druck. Die Zahlen dahinter sind zwar bescheiden: Aishengna will 2026 gerade einmal fünf, 2027 rund zwanzig Maschinen bauen, ASML liefert davon jährlich rund 130 aus, und selbst die chinesischen Geräte brauchen weiterhin kritische Bauteile aus Japan. Trotzdem geht UBS davon aus, dass China die Hochvolumenfertigung solcher DUV-Maschinen schon in zwei bis fünf Jahren beherrschen könnte – deutlich schneller als bei EUV.

Und gerade der Export hochentwickelter ASML-Anlagen nach China ist seit Jahren stark eingeschränkt. Die Maßnahmen treffen indirekt auch Zeiss, weil die Optiken aus Oberkochen in diesen Maschinen verbaut werden.

Auch Rohmund warnt vor Übertreibung in beide Richtungen: Chinas Fortschritt sei „schwer zu quantifizieren“, die aktuellen Entwicklungen kämen aber „nicht wirklich überraschend“. Ausgerechnet er warnt zugleich vor schärferen US-Exportbeschränkungen für ältere Maschinen – sie würden Chinas Innovationstempo eher beschleunigen als bremsen, sagt er. Ein Satz, der auch wirtschaftliches Eigeninteresse verrät: Zeiss und ASML verdienen selbst gutes Geld mit dem DUV-Geschäft in China.

Mit High-NA-EUV sollen noch feinere Strukturen auf Chips möglich werden. Die Technologie aus Oberkochen wurde zuletzt auch in der Region für ihre enorme Präzision ausgezeichnet.